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金屬四探頭電阻率方阻測(cè)試儀


產(chǎn)品介紹:

金屬四探頭電阻率方阻測(cè)試儀(HS-MPRT4)是用來測(cè)量半導(dǎo)體材料(主要是硅單晶、鍺單晶、硅片)電阻率,以及擴(kuò)散層、外延層、ITO導(dǎo)電薄膜、導(dǎo)電橡膠方塊電阻的測(cè)量?jī)x器。本儀器的特點(diǎn)是主機(jī)配置雙數(shù)字表,在測(cè)量電阻率(電壓表)的同時(shí),另一塊數(shù)字表(電流表以千分之二的精度)適時(shí)監(jiān)測(cè)全程的電流變化,免除了測(cè)量電流/測(cè)量電阻率的轉(zhuǎn)換,更及時(shí)掌控測(cè)量電流。主機(jī)還提供精度為0.05%的恒流源,使測(cè)量電流高度穩(wěn)定。本機(jī)配有恒流源開關(guān),在測(cè)量某些箔層材料時(shí),在探頭壓觸樣品后再接通恒流源可免除探針尖與被測(cè)材料之間接觸火花的發(fā)生,更好地保護(hù)薄膜。儀器配置了本公司的專利產(chǎn)品:“小游移四探針頭”,探針游移率在0.1~0.2%。保證了儀器測(cè)量電阻率的重復(fù)性和準(zhǔn)確度。手。



金屬四探頭電阻率方阻測(cè)試儀-產(chǎn)品特點(diǎn)

采用金屬探頭,游移率小,穩(wěn)定性高
適用于西門子法、硅烷法等工藝生產(chǎn)原生多晶硅料的企業(yè)
適用于物理提純生產(chǎn)多晶硅料生產(chǎn)企業(yè)
適用于光伏拉晶鑄錠及 IC 半導(dǎo)體器件企業(yè)
具有抗強(qiáng)磁場(chǎng)和抗高頻設(shè)備的性能

金屬四探頭電阻率方阻測(cè)試儀-技術(shù)指標(biāo)

電阻率:0.01~199.9Ω•cm
方塊電阻:0.1~1999Ω/口
直流數(shù)字電壓表  測(cè)量范圍:0~199.9mv
              靈敏度:100μv 準(zhǔn)確度:0.2%(±2個(gè)字)W
電源: AC 220V ± 10% , 50HZ•cm
功耗:最大功耗 ≤10W ,平均功耗≈ 8W


金屬四探頭電阻率方阻測(cè)試儀-典型用戶

北江蘇、浙江、廣東、湖南湖北、內(nèi)蒙古、河南等地的CZ直拉單晶及鑄錠客戶客戶


 

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