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產(chǎn)品簡介

         OWT-100采用PHYS獨(dú)有技術(shù)，對(duì)透明、半透明材料的厚度、TTV進(jìn)行無接 觸測(cè)量，其對(duì)

        透明、半透明材料的高精度精確測(cè)量的性價(jià)比在同類測(cè)試儀器中是無可比擬的。
 
 產(chǎn)品特征

        ■無接觸無損傷測(cè)量

        ■高精確度及重復(fù)性

        ■測(cè)量材料范圍廣，透明、半透明、不透明幾乎所有材料的厚度、TTV

        ■抗干擾強(qiáng)，穩(wěn)定性好                                       

        ■強(qiáng)大的工控機(jī)控制和大屏幕顯示

        ■一體化設(shè)計(jì)操作更方便，系統(tǒng)穩(wěn)定

        ■為晶圓硅片關(guān)鍵生產(chǎn)工藝提供精確的無接觸測(cè)量

        ■ 超高測(cè)試速度


技術(shù)指標(biāo)

        ■測(cè)試尺寸：50mm-200mm.

        ■厚度測(cè)試范圍：1000 um，可擴(kuò)展到1700 um  

        ■厚度測(cè)試精度：+/-0.1um

        ■厚度重復(fù)性精度：0.050um

        ■TTV 測(cè)試精度: +/-0.05um

        ■TTV重復(fù)性精度: 0.050um

        ■測(cè)量時(shí)間: <1秒

        ■材料：透明、半透明材料

        ■尺寸: 560X650X400mm

        ■電源：220V 50HZ  300W
 
 典型客戶：        

    藍(lán)寶石、碳化硅、石英玻璃等透明或半透明晶片企業(yè)等