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解決方案 >> 藍(lán)寶石和碳化硅品質(zhì)提升解決方案
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晶體表面油污檢測(cè)及處理方案
晶片表面有油污，很難以檢測(cè)到，即便用KLA也難以判斷，這主要是有檢測(cè)原理決定的。有污染的晶片若被應(yīng)用的外延，就會(huì)嚴(yán)重影響到LED的品質(zhì)，使成品率下降。所以，如果要排除污染，就必須有一個(gè)專業(yè)的設(shè)備進(jìn)行探測(cè)與判斷。
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平整度檢測(cè)方案
平整度是晶片很重要的參數(shù)，直接決定了片子合格與否，檢測(cè)平整度的方法很多，但目前看來國(guó)際還是依托于SEMI標(biāo)準(zhǔn)。參數(shù)的定義，檢測(cè)的精度都是需要認(rèn)真考慮的。
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藍(lán)寶石與碳化硅腐蝕方案
腐蝕工藝直接決定了檢測(cè)位錯(cuò)的結(jié)果，關(guān)鍵的一點(diǎn)可能會(huì)讓您少走很多的彎路，敬請(qǐng)關(guān)注。
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藍(lán)寶石光學(xué)等級(jí)評(píng)估
光學(xué)晶體等級(jí)一般分六級(jí)，如何進(jìn)行評(píng)估，怎么評(píng)估？這不光需要專業(yè)的檢測(cè)設(shè)備，還有就是一線檢測(cè)經(jīng)驗(yàn)。
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碳化硅工藝流程及檢測(cè)方案
碳化硅工藝流程及檢測(cè)方案
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藍(lán)寶石整體檢測(cè)方案
工藝流程及涉及的檢測(cè)設(shè)備
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