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    儀器簡介：

    Dektak150型是Veeco公司2007年正式推出的最新型探針式表面輪廓儀(臺(tái)階儀)產(chǎn)品，主要應(yīng)用  于薄膜厚度測(cè)量、樣品表面形貌測(cè)量、薄膜應(yīng)力測(cè)量、樣品表面粗糙度/波紋度測(cè)量、以及樣品表面三 維 形貌測(cè)量等眾多領(lǐng)域。
Dektak 150集四十余年的技術(shù)積累和創(chuàng)新于一身，為滿足用戶不同應(yīng)用方向的需要提供了多種可選配置。堅(jiān)固的鋁質(zhì)材料鑄成的機(jī)身框架以及支撐部件顯著提高了儀器的重復(fù)精度，并降低了地板噪音對(duì)測(cè)量的干擾。基于Windows XP的Dektak隨機(jī)配備軟件系統(tǒng)界面友好，為用戶提供了完善的分析功能。“一鍵式”操作方式使得測(cè)量工作簡單易行。通過選配三維成像附件套裝還可以極大地?cái)U(kuò)充儀器的功能。



    技術(shù)參數(shù)：
    測(cè)量重復(fù)性 6? 

    掃描長度 50μm-55mm 

    單次掃描最大數(shù)據(jù)點(diǎn) 60,000個(gè) 

    允許樣品最大高度 100mm (根據(jù)配置不同會(huì)有所變化) 

    垂直范圍量程 524μm (1mm選配) 

    最高垂直分辨率 1 ? (6.55μm量程范圍下) 

    樣品臺(tái) 150mm，X-Y-θ手動(dòng)調(diào)節(jié) 

    探針壓力范圍 1-15mg (0.03mg選配) 

    攝像頭顯微鏡視野范圍2.6mm (0.67-4.29mm選配)


    主要特點(diǎn)：
    1. 臺(tái)階高度測(cè)量的高重復(fù)性 

    2. 基于精密加工光學(xué)參考平面的樣品臺(tái)， 

    確保在長距離掃描中基線的穩(wěn)定性 

    3. 出色的易用性、易維護(hù)性 

    4. 最好的樣品適用性 

    5. 高分辨率的粗糙度測(cè)量 

    6. 功能強(qiáng)大的軟件分析系統(tǒng) 

    7. 三維表面形貌測(cè)量的功能可升級(jí)性 

    8. 廣泛的應(yīng)用領(lǐng)域